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簡(jiǎn)要描述：NANOS 臺式掃描電鏡 NANOS是一款全面且高性?xún)r(jià)比的臺式掃描電子顯微 鏡（SEM）。它采用zui新技術(shù)進(jìn)行設計，提供快速高 質(zhì)量的SEM成像和元素分析。它的設計先進(jìn)且現代， 非常適合科學(xué)研究、產(chǎn)品研發(fā)和工業(yè)用戶(hù)使用。
更新時(shí)間：2024-04-19產(chǎn)品型號：NANOS
• 標配高性能二次電子及4分割背散射探頭
• 一體集成式EDS探頭，成像同時(shí)采集EDS結果
• 標配低真空模式成像功能
• 全自動(dòng)馬達控制及優(yōu)中心傾轉設計樣品臺
• 配備性能優(yōu)化燈絲
• 直觀(guān)友好用戶(hù)界面設計
• 低維護成本
NANOS以高性?xún)r(jià)比提供高分辨率SEM成像和同步快速 元素分析(EDS)功能于一體，安裝簡(jiǎn)單、使用及維護 方便。
NANOS 臺式掃描電鏡
NANOS是一款全面且高性?xún)r(jià)比的臺式掃描電子顯微 鏡（SEM）。它采用zui新技術(shù)進(jìn)行設計，提供快速高 質(zhì)量的SEM成像和元素分析。它的設計先進(jìn)且現代， 非常適合科學(xué)研究、產(chǎn)品研發(fā)和工業(yè)用戶(hù)使用。
探測器
NANOS標配二次電子探測器（SED）和背散射電子 探測器（BSD）。BSD具有4象限檢測功能。通過(guò)使 用不同區域信號的組合，能夠實(shí)現樣品的成分或形貌 細節du立成像，以及通過(guò)從多個(gè)方向突出顯示表面而 具有“投影成像效果”的圖像。
元素分析
NANOS配備了一體式集成硅漂移能量色散X射線(xiàn)探測 器(EDS) 。通過(guò)用戶(hù)界面，用戶(hù)可以選擇EDX點(diǎn)分析 或實(shí)時(shí)元素面掃描。
優(yōu)中心樣品臺
NANOS是臺式掃描電鏡中wei一一家標配優(yōu)中心設計 樣品臺，能夠通過(guò)用戶(hù)控制界面實(shí)現電動(dòng)X(jué)Y軸樣品 臺移動(dòng)，在SEM成像模式下可采用優(yōu)中心設計樣品臺 傾轉實(shí)現樣品傾斜觀(guān)察，且樣品始終保持聚焦狀態(tài)， 無(wú)需重新對焦，用戶(hù)界面實(shí)時(shí)顯示jing確樣品臺傾斜角 度，zui大傾斜角度為55°。
導航相機
NANOS在進(jìn)樣時(shí)，標配的光學(xué)導航相機會(huì )自動(dòng)對樣品 進(jìn)行拍照實(shí)現樣品精準導航。即便在高倍下，用戶(hù)可 以輕松確定樣品位置。
低真空成像
NANOS標配低真空成像功能，低真空成像模式能 夠有效減少或消除樣品荷電對成像的影響。當在高 真空模式下觀(guān)察不導電的樣品時(shí)，電子積聚在樣品 表面，會(huì )導致嚴重荷電現象，影響樣品觀(guān)察。
用戶(hù)操作界面
NANOS軟件界面始終將SEM圖像放在屏幕的中心， 通過(guò)直觀(guān)的軟件界面進(jìn)行簡(jiǎn)單設置，即可完成樣品拍 攝。該軟件為僅需快速簡(jiǎn)單SEM成像的人提供簡(jiǎn)易模 式，同時(shí)也為深入進(jìn)行樣品分析需求提供gao級模式。 用戶(hù)可以通過(guò)無(wú)線(xiàn)鼠標和鍵盤(pán)完全控制NANOS，并 可以通過(guò)iPad實(shí)現設備遠程操控。導航攝像頭 （NavCam）始終處于啟用狀態(tài)，能夠確保用戶(hù)準確 知道觀(guān)察樣品的對應位置。
主要技術(shù)特點(diǎn)
豐富的標準配置： NANOS標配二次電子探頭（SED）、四分割高性 能背散射探頭（BSD）、一體式集成EDS和優(yōu)中 心設計樣品臺。
設計精良：
NANOS采用了可靠的現代設計，并采用了zui新的 成像技術(shù)和成分分析探測器。
售后維護方便：
NANOS的設計使您可以輕松進(jìn)行維護和升級，這 些維護和升級可以在您的場(chǎng)所完成，無(wú)需售后工程 師上門(mén)。
可靠性高：
憑借出色的穩定性和較小的占地面積，NANOS的 架構確保了它可以在非實(shí)驗室環(huán)境中使用，滿(mǎn)足各 種現場(chǎng)工況成像需求。
多操作模式選擇：
在基礎模式下，無(wú)需操作經(jīng)驗，NANOS都能在短 時(shí)間內完成掃描電鏡成像分析。高級模式為詳細分 析提供了進(jìn)一步的功能。
覆蓋1kV至20kV可調加速電壓，可確保高速EDS分析和 面掃，準確識別樣品中的元素成分及含量。
設備維護
NANOS的開(kāi)發(fā)以zui佳售后服務(wù)體驗為核心，采用可拆 卸面板、模塊化組件設計 、整機僅需一塊控制板和少 量移動(dòng)部件構成，可將售后服務(wù)要求降至最低。 NANOS的du特之處在于真空室內沒(méi)有移動(dòng)部件，由于 這種巧妙的設計，樣品污染的風(fēng)險大大消除。
電子光源
NANOS采用強大的熱發(fā)射鎢燈絲電子源，由電磁線(xiàn)圈 透鏡和靜電偏轉器控制實(shí)現電子束掃描。使用“eco” 設置，燈絲壽命可以延長(cháng)數百小時(shí)，并且仍然可以生 成高分辨率圖像。任何用戶(hù)都可以du立用很簡(jiǎn)單的對 準工具更換燈絲，確保zui短的停機時(shí)間。無(wú)需等待服 務(wù)工程師來(lái)上門(mén)更換。
技術(shù)參數
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圖像模式 |
光學(xué) |
放大倍數范圍: 2 – 12x |
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電子束 |
放大倍數范圍: 50 – 200,000x |
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分辨率 |
<8 nm |
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成像方式 |
光學(xué) |
明場(chǎng) |
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電子束 |
優(yōu)化鎢燈絲 (tungsten) |
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加速電壓 |
默認: 1, 2, 5, 7, 10, 15 & 20 kV，可調范圍介于1和20kV之間 |
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探測器 |
二次電子探測器 (SED) |
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4分割被散射電子探測器 (BSD) |
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一體化集成X射線(xiàn)探測器(EDS) |
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數字成像控制 |
集成式彩色數字導航相機 |
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圖像存儲格式 |
JPEG, TIFF, PNG, BMP |
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用戶(hù)界面 |
通信、成像和及分析均由通過(guò)無(wú)線(xiàn)鼠標和鍵盤(pán)進(jìn)行控 制的單個(gè)窗口軟件即可 支持遠程控制（如iPad） 支持基礎以及gao級模式 |
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數據存儲 |
網(wǎng)絡(luò )、USB、zhuan用工作站 |
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樣品臺 |
優(yōu)中心樣品臺，傾轉范圍-15°～+40° |
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馬達控制X、Y軸移動(dòng)范圍: 25 X 25 mm |
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樣品尺寸 |
25 mm 直徑釘臺，zui大支持60 mm 直徑 |
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EDS 參 數 |
探 測 器 類(lèi) 型 |
Si漂移探測器 (SDD), 電制冷 |
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探測窗口面積 |
30 mm2 |
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能量分辨率 |
@ Mn Kα < 127 eV |
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最大計數率 |
300,000 cps |
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硬件集成 |
一體嵌入式，直接集成于NANOS 用戶(hù)界面 |
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軟件 |
EDS分析以及面掃描 結果導出功能 |
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系統參數 |
主機尺寸 |
280mm (w) x 630mm (d) x 550mm (h) |
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重量 |
60 kg |
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真空泵 |
無(wú)油真空泵以及渦輪分子泵 |
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真空模式 |
高真空模式（傳統SEM）低真空模式0.4mbar（低真空SEM） 通過(guò)用戶(hù)界面控制真空度 |
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工作站 |
帶有27英寸顯示器的預配置一體機。 安裝SEM成像和EDS分析軟件 |
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